יצירת חנקן קריוגני בדרגת מוליכים למחצה-
בייצור-מתקדמים של מוליכים למחצה, עקבות זיהומים בסביבת התהליך-H₂O, O₂, CO₂ ו-THC-מתורגמים ישירות לפגמים בפרוסות ואובדן תפוקה. ייצור חנקן קונבנציונלי- באתר נאבק לעתים קרובות עם תנודות טוהר וצריכת אנרגיה גבוהה יותר, בעוד שאספקת חנקן נוזלי מתמודדת עם אי ודאות בשרשרת האספקה ועלויות לוגיסטיות עולות. ייצור חנקן קריוגני בדרגת מוליכים למחצה- נותן מענה לאתגרים הללו באמצעות זיקוק קריוגני, ומספק חנקן בטוהר- גבוה עם תכולת חמצן מתחת ל-1 ppm ברציפות מהחלקה בודדת, תוך שמירה על צריכת האנרגיה ברמות- המובילות בתעשייה. זה הפך למקור החנקן הסטנדרטי למוצרי 12 אינץ', מתקני אריזה מתקדמים וקווי ייצור של מוליכים למחצה מורכבים.
עקרון הפעולה
המערכת פועלת על זיקוק אוויר קריוגני. אוויר הזנה עובר סינון- רב-שלבי ודחיסת-התאוששות חום לפני שהוא נכנס ליחידת טיהור- מולקולרית של מסננת הפיכה, שבה מסירים H₂O, CO₂ ופחמימנים. האוויר המטוהר מתקרר בהדרגה לכ--170 מעלות עד -196 מעלות בתוך עמודת הפירוק, שם מופרדים חמצן וחנקן על ידי הפרש נקודת הרתיחה שלהם (חמצן: -183 מעלות, חנקן: -196 מעלות) באמצעות תיקון מתמשך באריזה מובנית. חנקן בטוהר גבוה נשאב מהחלק העליון של העמוד, בעוד גז פסולת מועשר בחמצן מופרש או מוחזר בחלקו התחתון. מרחיב טורבו במחזור סגור מספק את יכולת הקירור; לאחר הפעלתה, המערכת פועלת באופן קבוע על חשמל ומי קירור בלבד, ללא ריקבון סופח או דאגות החלפה תקופתיות.
מפרטי ביצועים
| פָּרָמֶטֶר | לָנוּעַ |
|---|---|
| טוהר חנקן | 99.9995% ~ 99.9999% (O₂ פחות או שווה ל-1 ppm, CO₂ פחות או שווה ל-0.1 ppm) |
| קצב זרימה (Nm³/h) | 50 ~ 3,000 לכל עמודה (ניתן להרחבה במקביל) |
| לחץ מסירה (MPaG) | 0.4 ~ 1.0 (ניתן להתאמה) |
| נקודת טל (מעלה) | פחות או שווה ל-70 (בלחץ אטמוספרי) |
| זמן הפעלה-(קר) | פחות או שווה ל-60 דקות |
| יחס הסבה | 50% ~ 110% רציף |
צריכת אנרגיה אופיינית (ב-1,000 Nm³/h, 0.6 MPaG):
- הספק ספציפי: 0.28 ~ 0.32 קוט"ש/Nm³
- מי קירור: כ. 45 t/h (Δt=8 מעלות)
- אוויר מכשיר: פחות או שווה ל-5 Nm³/h
בהשוואה לתצורות קונבנציונליות של שתי-עמודות, מערכת זו משיגה צריכת אנרגיה נמוכה יותר ב-8%-12% ליחידה באמצעות מרחיב טורבו-טורבו ביעילות גבוהה- ופנימי עמודים אופטימליים.
נתונים טכניים (דגם טיפוסי)
| פָּרִיט | מִפרָט |
|---|---|
| דֶגֶם | SCNG-1000 |
| תפוקת חנקן | 1,000 Nm³/h |
| טוֹהַר | 99.9995% |
| לחץ הפעלה | 0.6 MPaG |
| טמפ' פריקת חנקן. | אווירה (+5 מעלות ~ +35 מעלות) |
| טמפרטורת סביבה. לָנוּעַ | 5 מעלות ~ 45 מעלות |
| ספק כוח | 380V/50Hz/3P |
| צריכת אוויר הזנה | 4,200 Nm³/h @ 0.7 MPaG |
| דרישת מי קירור | 45 t/h (כניסה 32 מעלות, יציאה 40 מעלות) |
| כוח מותקן | כ. 320 קילוואט |
| מידות החלקה (L×W×H) | 12m × 4.5m × 5.8m |
| משקל החלקה | כ. 28 ט |
הערכים מבוססים על תנאי עיצוב סטנדרטיים; הנתונים בפועל עשויים להשתנות בהתאם לגובה האתר, טמפרטורת הסביבה ותנאי השירות הספציפיים.
יישומים
מערכת זו מיועדת לסביבות תהליכים-מתמשכים המטילים מגבלות מחמירות על מזהמים גזים:
- ייצור פרוסות בגודל 12 אינץ' / 8 אינץ' - גז טיהור ונשא עבור דיפוזיה, CVD, תחריט והשתלת יונים.
- אריזה מתקדמת (חבטות, TSV) - בקרת אווירה בתנורים עם זרימה חוזרת למזעור חמצון הלחמה.
- מוליכים למחצה מורכבים (SiC, GaN) - גז נשא ודילול במהלך צמיחה אפיטקסיאלית.
- יצירת ליטוגרפיה ומסכה- - ניקוי גז לנתיבי UV עמוקים- כדי למנוע מספיגת חמצן מלהעביר את אנרגיית החשיפה.
- אלטרנטיבה לתחנת דלק בתפזורת - משמשת כיחידת הליבה של-חצר דלק באתר, ומחליפה אספקת חנקן נוזלי או-גללי גלילים בלחץ גבוה.
הסמכות, היקף משלוח והתאמה אישית
- קודי עיצוב: ASME VIII-1 / GB/T 150, HG/T 3186 עבור מכלי לחץ; צנרת לכל B31.3.
- אזור חשמלי ומסוכן: זמין עם תאימות Class I Div 2 או ATEX Zone 2; מערכת בקרה עם יתירות SIL 2.
- אפשרויות משלוח: יחידות מוחלקות-שלמות (קופסה קרה, מרחיב טורבו, מטהר ובקרות שהורכבו מראש על בסיס פלדה) או רכיבים-שנשלחו רופפים עבור אתרים עם אילוצי הרמה.
- Customization: Column height and heat exchanger surface can be adjusted for high-altitude (>1,500 מ') או סביבות-בטמפרטורה גבוהה; ניתן להתאים את גבולות הטומאה- מיוחדים-או עקבות-באמצעות מחזורי זיקוק מותאמים.
- חבילת תיעוד: P&IDs, שרטוטי הסדר כללי, שרטוטים חשמליים, מדריכי תפעול ותחזוקה, סיכום HAZOP, פרוטוקולי FAT/SAT ודוחות בדיקה.
תמיכה ואחרי-מכירות
- ניטור מרחוק: שער IoT סטנדרטי עם קישוריות Modbus TCP לצמח DCS או SCADA; גיבוי נתונים בענן (אופציונלי בשרת-premise).
- חלקי חילוף: ערכות חלקי חילוף ל-3 עד 5 שנים המכסות מיסבי טורבו-מרחיב, מסננת מולקולרית ואטמי שסתומים, מסופקות לצד הציוד העיקרי.
- שירותי שטח: פיקוח על התקנה, הפעלה- והפעלה, הדרכת מפעילים (כיתה + ידיים-) ואימות ביצועים שנתי.
- אחריות: 12 חודשים מהקבלה למערכת השלמה; רכיבי הקצה הקרים- של ה-turboexpander הוארך ל-24 חודשים.
Shenger Gas מביאה-יכולות מלאות בתוך הבית ביצירת חנקן קריוגני-מהדמיית תהליך זיקוק וחישוב הידראולי של עמודות פנימיות ועד לניתוח מתח של קופסת הקירור-שהושלמו על ידי צוות ההנדסה שלנו. כל יחידה עוברת בדיקת ביצועי עומס מלאים- לפני המשלוח. עבור יישומי מוליכים למחצה, אנו מספקים ממשקים נוספים ל-ניטור חלקיקים בקו ואינטגרציה של ניתוח זיהומים-, המבטיחים שאיכות החנקן תישאר ניתנת למעקב וניתנת לאימות לאורך הייצור. לדיון נוסף על דרגות טוהר ספציפיות, תנודות זרימה או אילוצי פריסת אתר, קבוצת ההנדסה הטכנית שלנו זמינה להתייעצות.
תגיות פופולריות: ייצור חנקן קריוגני בדרגת מוליכים למחצה-, יצרנים, ספקים, מפעלים של חנקן קריוגני בדרגת מוליכים למחצה- בסין
אולי גם תרצה
שלח החקירה